Содержание
ВВЕДЕНИЕ
1 Методы и средства сканирующей электронной микроскопии
1.1 История развития метода
1.2 Устройство и принцип действия СЭМ
1.3 Физические принципы получения информации
1.4 СЭМ с измерительными функциями и их основные характеристики
1.5 Постановка цели и задач дипломной работы.
2 Специальная часть
2.1 Обоснование концепции передачи размера единицы длины в нанометровом диапазоне
2.2 Вещественные меры воспроизведения размеров и перемещений в нанометровом диапазоне
2.3 Разработка рекомендаций по методике калибровки и поверки СЭМ
3. Безопасность жизнедеятельности
3.1 Анализ опасных и вредных факторов
3.2 Разработка технических мер безопасности при проведении измерений и калибровке СЭМ
3.3 Разработка мероприятий по охране природы
4. Организационно-экономический раздел
4.1 Планирование работ по разработке методики экспериментальных исследований и НД на методы испытаний
4.2 Расчет сметы затрат на разработку проекта НД
4.3 Планирование работ и расчёт сметы затрат на проведение экспериментальных исследований
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Список использованных источников
Приложения:
— Доклад
— Раздаточный материа
Выдержка из текста
Современный этап развития нанометрологии характеризуется возрастанием требований к точности измерений геометрических параметров нанообъектов.
Основным инструментом для наблюдения и измерений (качественной и количественной оценки) параметров сверхмалых объектов являются микроскопы, использующие различные физические принципы и средства воздействия на объект: световые потоки, электронные и ионные пучки, акустоэлектронные взаимодействия, рентгеновские лучи, туннельные потоки носителей заряда, силовые поля на сверхмалых расстояниях и т.п.
Измерения геометрических параметров на нанометровых масштабах чаще всего осуществляются с помощью сканирующих электронных микроскопов (СЭМ), а также сканирующих зондовых туннельных и атомно – силовых микроскопов.
Новое поколение сканирующих электронных микроскопов с измерительными функциями обладает высокой разрешающей способностью измерений размеров, возможностью получения большого объема измерительной информации, развитым программным обеспечением по визуализации топографии поверхности и обработке результатов измерений. Однако, точность полученных результатов измерений всегда ограничивается точностными возможностями методов и средств, применяемых при калибровке данных средств измерений
Список использованной литературы
1.Суслов А.А., Чижик С.А. Сканирующие зондовые микроскопы (обзор) / Материалы, Технологии, Инструменты. – Т.2 (1997), №3.
2. Соловьев В.В. Разработка средств измерений геометрических и механических величин методами полуконтактной сканирующей зондовой микроскопии и наноиндентирования. Диссертация на соискание ученой степени кандидата наук. – М.,2010.
3. Лукашкин В.Г., Гарипов В.К., Слепцов В.В. Измерение и контроль геометрических величин. – М.: МГУПИ, 2009.
4. www.wikipedia.org – сканирующий туннельный микроскоп.
5. www. nanotechnology.sfedu.ru
6. Лускинович П.Н. Учебный курс дистанционного обучения по нанотехнологиям. – М.: Межгосударственный фонд гуманитарного сотрудничества, 2009.
7. Основы сканирующей зондовой микроскопии. Учебное пособие. – Нижний Новгород. Институт физики микроструктур РАН, 2004.
8. www.wikipedia.org – атомно — силовой микроскоп.
9. http://www.mipt.ru
10. Сканирующий зондовый микроскоп «Наноскан – 3 D». Руководство по эксплуатации, 2009.
11. ГОСТ Р 8.628-2007. ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материалов для изготовления.
12. Мера периода и высоты линейная (TG21, TG22, TG23). Руководство по эксплуатации, 2009.
13. Безопасность жизнедеятельности. Учебник для Вузов / Под ред. С.В.Белова. – М.: Высшая школа,2005
14. И.Ф. Ливчак и др.Охрана окружающей среды (учебник для технических вузов). — М.: Колос,1995.
15. В.К.Скляренко, В.М.Прудников. Экономика предприятия. Москва:Инфа-М, 2005