Пример готовой курсовой работы по предмету: Технологические машины и оборудование
Содержание
Вакуумная камера из нержавеющей электрополированной стали, изготовлена на Тайване и отвечает самым строгим требования, предъявляемым к вакуумным камерам. По согласованию с заказчиком и исходя из температурных режимов, предусмотренных в техпоцессе, камера изготавливается с каналами для водяного охлаждения, или без водяного охлаждения.
Камера имеет D-форму (в поперечном сечении), плоскую дверь с вакуумным окном
10. мм и заслонкой окна, большое количество фланцев стандарта CF2.75” для подсоединения прборов. Внутренний размер вакуумной камеры — 40х 60 см.
По умолчанию расположение магнетронов в данной системе – внизу, напыление идёт на расположенную наверху подложку.
По согласованию с заказчиком возможно верхнее расположение магнетронов для напыления на расположенный на дне вакуумной камеры подложкодержатель. Для подсоединения ТМН используется фланец ConFlat 8” (CF160)).
Выдержка из текста
Расчет процессов откачки различных вакуумных установок является ком-плексной задачей. Для этого необходимо определить функциональные требования к технологическому оборудованию, выбрать номенклатуру и характеристики средств откачки (вакуумных насосов), определить длину и диаметр вакуумопроводов, разработать технологический процесс откачки, сформировать базу данных для расчета, провести предварительный расчет без учета процессов газовыделения вакуумной камеры, скорректировать полученные результаты с учетом газовой десорбции и газовыделения стенками вакуумной камеры.
Список использованной литературы
Список литературы
1.http://www.robvac.com/v_mvm.html
2.http://www.actan.ru/vac_turbo_ff_160_700e.html .
3.http://www.dia-m.ru/lab/nasosy-vakuumnye-vykuumno-nagnetatelnye/nasos-vakuumnyy-do-0-001-mbar-38-9-32-2-m 3-ch-plastinchato-rotornyy-3-faznyy-50-60-gts-380-400-230-4/
4.http://www.terla.ru/catalog/vacuum/turbopumps
5.http://www.erstvak.com/equipment/prom-vacuum/prn/prn_223.html
