Содержание
Вакуумная камера из нержавеющей электрополированной стали, изготовлена на Тайване и отвечает самым строгим требования, предъявляемым к вакуумным камерам. По согласованию с заказчиком и исходя из температурных режимов, предусмотренных в техпоцессе, камера изготавливается с каналами для водяного охлаждения, или без водяного охлаждения.
Камера имеет D-форму (в поперечном сечении), плоскую дверь с вакуумным окном 100 мм и заслонкой окна, большое количество фланцев стандарта CF2.75” для подсоединения прборов. Внутренний размер вакуумной камеры — 40х60 см.
По умолчанию расположение магнетронов в данной системе – внизу, напыление идёт на расположенную наверху подложку.
По согласованию с заказчиком возможно верхнее расположение магнетронов для напыления на расположенный на дне вакуумной камеры подложкодержатель. Для подсоединения ТМН используется фланец ConFlat8” (CF160)).
Выдержка из текста
Расчет процессов откачки различных вакуумных установок является ком-плексной задачей. Для этого необходимо определить функциональные требования к технологическому оборудованию, выбрать номенклатуру и характеристики средств откачки (вакуумных насосов), определить длину и диаметр вакуумопроводов, разработать технологический процесс откачки, сформировать базу данных для расчета, провести предварительный расчет без учета процессов газовыделения вакуумной камеры, скорректировать полученные результаты с учетом газовой десорбции и газовыделения стенками вакуумной камеры.
Список использованной литературы
Список литературы
1.http://www.robvac.com/v_mvm.html
2.http://www.actan.ru/vac_turbo_ff_160_700e.html.
3.http://www.dia-m.ru/lab/nasosy-vakuumnye-vykuumno-nagnetatelnye/nasos-vakuumnyy-do-0-001-mbar-38-9-32-2-m3-ch-plastinchato-rotornyy-3-faznyy-50-60-gts-380-400-230-4/
4.http://www.terla.ru/catalog/vacuum/turbopumps
5.http://www.erstvak.com/equipment/prom-vacuum/prn/prn_223.html
С этим материалом также изучают
... технологический процесс откачки, сформировать базу данных для расчета, провести предварительный расчет без учета процессов газовыделения вакуумной камеры, ... основы процесса1.2 Описание технологической схемы установки с КИП и А1.3 Устройство, ...
... Расчет процесса горения топлива в камере сгорания 3.3 Расчет основных показателей работы установки 4.Термодинамический расчет на ЭВМ 5.Графическая зависимость основных показателей установки 6.Расчет процесса ... производств: Учебник для вузов. – ...
Узнайте все о процессе создания зубных протезов для детей. В статье подробно рассматриваются этапы производства, от выбора биосовместимых материалов, таких как акрил или нейлон, до современных технологий, которые учитывают рост челюсти и обеспечивают комфорт ребенка.
... список 1.В.Л. Похорилер «Расчет тепловой схемы конденсационной паротурбинной установки для тепловой Электростанции: методические указания ... %) вырабатывается на тепловых электростанциях (ТЭС). Процесс получения электрической энергии на ТЭС заключается ...
... т.д. Приборы ведут непрерывный контроль процессов, протекающих в установке, или же подключаются к объекту ... 111.2.4 Обоснования необходимости использования вычислительной техники для решения задачи…………………………………………………………….131.3 Развёрнутая постановка ...
... процесс используется для разделения таллового масла и сульфатного скипидара, при переработке сульфитных щелоков и в других случаях.Принципиальная схема ректификационной установки ... работать на основе хозяйственного расчета, т.е. иметь самостоятельный ...
... Требования к установкам.25 Глава 2. Особенности установок для автоматизации процессов ИЛ…33 2.1. Оборудование ИЛ с ... возможности повышения однородности и воспроизводимости процессов ИЛ на среднетоковой установке ИЛ с поштучной обработкой пластин. ...
Изучите полный пример курсовой работы по созданию веб-сервиса для управления автоматизированной приточной установкой. В статье вы найдете детальный разбор структуры проекта, от аналитической части и выбора технических средств до разработки программного обеспечения и схем информационного обеспечения.
Изучите подробный образец курсовой работы по созданию мобильного приложения для финансовых вычислений. В статье представлен полный разбор структуры, от введения и анализа до реализации и тестирования, с примерами математических моделей.