Отчет по практике по предмету: Электроника, электротехника, радиотехника (Пример)
Содержание
Содержание:
Введение
1.1 Анализ материалов для создания электрической разводки в ИМС.
1.2 Дамасский и двойной дамасский процессы изготовления электрической
разводки из меди.
1.3 Постановка задачи.
1.4 Технологический процесс изготовления структуры, показывающей влияние конструкции ИМС на электромиграцию в электрической разводке схемы.
1.5 Вывод.
1.6 Список используемой литературы.
Выдержка из текста
В последние годы наблюдается тенденция снижения топологических размеров сверхбольших интегральных схем. Уменьшение размеров элементов неизбежно ведет к уменьшению ширины токоведущих дорожек. На первый план выходят такие проблемы как максимальная допустимая плотность тока и устойчивость к электромиграции.
Алюминий, который раньше использовался в производстве интегральных схем, теперь не соответствует новым требованиям и не может применяться в современных схемах, по причине высокой электромиграции, а также невозможности создания многоуровневой разводки, так как на поверхности алюминия всегда присутствует тонкая пленка Al 2O3.
Список использованной литературы
Список используемой литературы:
1.Березин А. С., Мочалкина О. Р., технология и конструирование интегральных схем, «Радио и связь», 1992 год.
2.Ennis T. Ogawa, Ki-Don Lee, Volker A. Blaschke, and Paul S. Ho; Electromigration Reliability Issues in Dual-Damascene interconnections, IEEE TRANSACTIONS ON RELIABILITY, VOL. 51, NO. 4, DECEMBER 2002.
3. Статья «Электродиффузия и отказы в электронике». , IEEE TRANSACTIONS ON RELIABILITY.
