Нанометрология измерения перемещений: Принципы, методы и метрологическое обеспечение

В эпоху, когда инженеры и ученые оперируют масштабами в миллиардные доли метра, точность измерений становится не просто требованием, а фундаментом для любого технологического прорыва. Наноизмерительная машина NMM-1, используя интерферометрические датчики, способна обеспечивать разрешение позиционирования до 0,1 нм, что сопоставимо с диаметром одного атома водорода. Эта поразительная точность служит яркой иллюстрацией того, как далеко продвинулась человеческая мысль в стремлении понять и контролировать мир на атомарном уровне.

Актуальность нанометрологии для развития нанотехнологий сложно переоценить. От точности измерения зависит не только качество создаваемых наноструктур и устройств, но и возможность их воспроизведения, стандартизации и коммерциализации. Этот реферат погрузит нас в мир нанометрологии, раскрыв ее принципы, методы и метрологическое обеспечение. Мы последовательно рассмотрим фундаментальные основы, передовые методы измерения наноперемещений, ключевую роль интерферометрии, а также вопросы метрологической прослеживаемости и применения нанотехнологий в различных отраслях.

Введение: Нанометрология в контексте современного научно-технического прогресса

Нанотехнологии – это не просто еще одна ступень в развитии науки, это целая революция, меняющая представления о возможностях материального мира. От создания новых лекарств и высокоэффективных материалов до разработки сверхбыстрых компьютеров – везде, где речь идет о манипулировании материей на атомарном и молекулярном уровнях, необходима беспрецедентная точность. Именно здесь на сцену выходит нанометрология, выступая в роли незаменимого арбитра и проводника в мир невидимых размеров. Она обеспечивает инструментальную базу для контроля, характеризации и стандартизации нанообъектов, тем самым открывая двери для дальнейших инноваций. Без ее строгости и достоверности многие достижения наноиндустрии оставались бы лишь на уровне гипотез. Наш реферат призван всесторонне осветить этот критически важный аспект нанотехнологий, обеспечивая глубокое понимание принципов и практик измерения перемещений на наноуровне.

Фундаментальные основы нанометрологии

Нанометрология, как молодая, но стремительно развивающаяся область метрологии, стоит на стыке классической измерительной науки и передовых нанотехнологий. Её появление обусловлено не просто желанием измерять очень маленькие объекты, а острой необходимостью работать с совершенно новыми физическими явлениями, проявляющимися на наномасштабах, ведь именно их понимание и контроль открывают путь к созданию революционных материалов и устройств.

Определение и задачи нанометрологии

В сердце нанотехнологической революции лежит способность измерять и манипулировать объектами, чьи линейные размеры находятся в диапазоне от 1 до 100 нанометров. Именно этим и занимается нанометрология (nanometrology) – раздел метрологии, который разрабатывает теорию, методы и инструменты для таких измерений. Это не просто уменьшение масштаба, а качественный скачок, требующий совершенно новых подходов.

Основные задачи нанометрологии многогранны и амбициозны:

• Обеспечение единства измерений геометрических параметров нанообъектов: Это первостепенная задача, лежащая в основе всей наноиндустрии. Как можно производить нанопродукцию, если мы не можем точно измерить её размеры и форму? Нанометрология должна гарантировать, что измерения, проведенные в разных лабораториях мира, будут сопоставимы и достоверны.
• Точное позиционирование зонда измерительного устройства: Вторая, не менее важная задача, особенно актуальна для сканирующих зондовых микроскопов и других систем, где требуется прецизионное наведение на конкретную точку нанообъекта. Представьте, что для измерения механических, электрических или оптических свойств нанообъекта, зонд должен быть установлен в требуемое место с эталонной точностью. Современные системы, такие как наноизмерительная машина NMM-1, уже демонстрируют впечатляющее разрешение позиционирования до 0,1 нм, что открывает широкие возможности для детального изучения.

Развитие нанометрологии — это не только о повышении точности существующих методов, но и о создании принципиально новых подходов, способных работать с уникальными свойствами вещества, проявляющимися на наноуровне. Она охватывает широкий спектр деятельности, включая создание эталонов, стандартных образцов состава и свойств, разработку стандартизованных методик измерений, калибровки и поверки приборно-аналитического и технологического оборудования.

Исторический контекст и эволюция измерительных технологий

История науки и техники всегда была неразрывно связана с развитием измерительных систем. От простейших линеек и угломеров, позволивших строить пирамиды и карты, до сложнейших лазерных и электронных систем, открывших двери в мир микро- и, теперь уже, наноразмеров. Каждая новая технологическая эпоха требовала адекватного метрологического обеспечения.

В начале XX века развитие машиностроения и точной механики привело к необходимости измерений с точностью до микрометров. Появление электронной микроскопии в середине века позволило заглянуть в мир субмикронных структур. Однако истинный вызов возник с появлением концепции нанотехнологий. Когда Ричард Фейнман в своей знаменитой лекции «Там внизу полно места» (1959 год) предсказал возможность манипулирования атомами, он, по сути, обозначил будущую потребность в метрологии совершенно нового масштаба.

Нанотехнологии, как мы их знаем сегодня, поставили перед метрологами новые, специфические задачи, обусловленные экстремально малыми размерами элементов и структур. Переход от микрона к нанометру – это не просто сокращение длины в тысячу раз, это переход к совершенно другой физике, где проявляются квантовые эффекты и поверхностные явления становятся доминирующими. Именно этот переход и стимулировал взрывное развитие нанометрологии, стремящейся ликвидировать разрыв между потребностями экономики в точных измерениях и существующей метрологической инфраструктурой. Этот разрыв, как показывает практика, способен как стимулировать, так и сдерживать развитие целых отраслей, особенно в таких социально значимых сферах и областях высоких технологий, как наноиндустрия.

Особенности нанообъектов и вызовы классической метрологии

Нанообъекты, по определению, имеют хотя бы один линейный размер в диапазоне от 1 до 100 нм. Но их уникальность не ограничивается лишь размером. Именно на этом масштабе начинают проявляться особые свойства вещества, которые не присущи макроскопическим объектам, и именно эти свойства ставят под сомнение применимость многих классических методов измерений.

Давайте рассмотрим ключевые особенности и вызовы:

1. Размерный эффект: С уменьшением размера до наномасштаба свойства материалов могут кардинально меняться. Например, изменяются температура плавления, электропроводность, оптические и магнитные характеристики. Эти изменения не всегда линейны и предсказуемы, что требует не только точных измерений, но и понимания физических процессов.
2. Эффекты квантовой физики: На наноуровне доминируют квантовые явления, такие как туннельный эффект. В сканирующих туннельных микроскопах (СТМ) туннельный ток между острием зонда и поверхностью образца чрезвычайно чувствителен к величине зазора, экспоненциально изменяясь примерно на порядок при перемещении острия на 0,1 нм. Этот эффект, не имеющий аналогов в классической физике, становится основой для сверхточных измерений, но в то же время требует совершенно иного подхода к интерпретации данных.
3. Взаимодействие с молекулярными и биологическими системами: Нанообъекты активно взаимодействуют с окружающей средой, включая молекулы воздуха, воды, биологические среды. Это может приводить к загрязнениям, изменению свойств и искажению результатов измерений.
4. Развитая поверхность: Отношение площади поверхности к объему у нанообъектов значительно выше, чем у макрообъектов. Это означает, что поверхностные эффекты (адсорбция, каталитическая активность, поверхностное натяжение) играют гораздо более значимую роль в их поведении и свойствах.

Дифракционный предел и неприменимость классических оптических методов: Возможно, самый очевидный вызов для классической метрологии связан с оптическими методами. Свет, как волна, не может «видеть» объекты, размеры которых значительно меньше его длины волны. Дифракционный предел, или предел Аббе, устанавливает фундаментальное ограничение на разрешение оптических микроскопов: он составляет около 200 нм для видимого света. Это означает, что детали изучаемой структуры, меньшие длины падающей волны, просто «замыливаются» и становятся неразличимыми. Для нанообъектов, находящихся в диапазоне 1-100 нм, традиционная оптическая микроскопия оказывается бесполезной. Этот факт заставил ученых искать совершенно новые, неоптические или оптические, но основанные на принципиально иных физических принципах, методы измерения.

Современные методы и средства измерения наноперемещений

В ответ на вызовы нанометрологии был разработан целый арсенал инновационных методов и приборов, способных «видеть» и измерять мир на атомарном уровне. Они основаны на различных физических принципах, каждый из которых позволяет преодолевать ограничения классической метрологии.

Сканирующие зондовые микроскопы (СЗМ)

Сканирующие зондовые микроскопы (СЗМ) стали настоящим прорывом в исследовании наномира. Их отличительная особенность — непосредственное взаимодействие острого зонда с поверхностью образца, что позволяет получать изображения с разрешением вплоть до атомарного.

Сканирующий туннельный микроскоп (СТМ)

Изобретение СТМ в 1980-х годах Гердом Биннигом и Генрихом Рорером, удостоенное Нобелевской премии по физике, открыло эру манипулирования атомами.

Принцип работы: В основе СТМ лежит квантовый туннельный эффект. Острое металлическое острие зонда подносится к проводящей или полупроводниковой поверхности образца на расстояние в несколько ангстрем (десятых долей нанометра). При приложении небольшого напряжения между зондом и образцом возникает туннельный ток. Этот ток чрезвычайно чувствителен к величине зазора: он экспоненциально изменяется примерно на порядок при перемещении острия по нормали к поверхности образца всего на 0,1 нм.

Методы сканирования:

• Режим постоянной высоты: Зонд сканирует поверхность на фиксированной высоте, а изменения туннельного тока прямо отражают топографию.
• Режим постоянного тока: Наиболее распространенный режим. Острие перемещается над поверхностью при постоянном напряжении, а туннельный ток поддерживается постоянным с помощью системы обратной связи, воздействующей на пьезоэлемент. Вертикальные перемещения пьезоэлемента, необходимые для поддержания постоянного тока, напрямую воспроизводят рельеф поверхности. Именно этот режим позволяет получать изображения с атомарным разрешением, наблюдая морфологию поверхности и локальные свойства образцов с субнанометровым пространственным разрешением.

СТМ позволяют не только «видеть» атомы, но и манипулировать ими, что было продемонстрировано в 1989 году, когда ученые IBM выложили логотип компании из 35 атомов ксенона.

Атомно-силовой микроскоп (АСМ)

АСМ, разработанный несколько позже, преодолел одно из ключевых ограничений СТМ – необходимость проводящей поверхности.

Принцип работы: В АСМ используется острый зонд, закрепленный на упругой консоли (кантилевере). Зонд взаимодействует с поверхностью образца посредством межатомных сил (силы Ван-дер-Ваальса, капиллярные силы, электростатические силы). Отклонение кантилевера, вызванное этими силами, регистрируется лазерной системой и фотодиодом, а затем преобразуется в изображение рельефа.

Ограничения АСМ:

• Контроль элементов СБИС: Хотя АСМ обладает высокой точностью, его возможности применения для контроля элементов современных СБИС с большой высотой (глубиной) рельефа (от 0,1 до 1,0 мкм и более) ограничены. Это связано с тем, что глубокие структуры могут быть недоступны для относительно широкого зонда.
• Зависимость от геометрии острия зонда: При глубине рельефа менее 100 нм регистрируемая кривая может существенно зависеть от геометрии острия зонда, что приводит к искажениям изображения и неточным измерениям. Для получения достоверных данных требуется тщательный подбор, калибровка и, при необходимости, изготовление специализированных зондов.

Несмотря на эти ограничения, СЗМ, включая АСМ и СТМ, остаются ключевыми инструментами нанометрологии, позволяя наблюдать и исследовать поверхности на атомарном и молекулярных уровнях.

Оптические методы сверхвысокого разрешения

Как было сказано ранее, классическая оптическая микроскопия ограничена дифракционным пределом. Однако современная наука нашла способы обойти это ограничение, создав оптические микроскопы сверхвысокого разрешения, которые стали незаменимыми для исследований в биологии, материаловедении и нанотехнологиях.

Среди наиболее ярких примеров:

• Nikon N-SIM (Structured Illumination Microscopy): Этот микроскоп использует структурированное освещение для получения изображений с разрешением до 85 нм. Вместо равномерного освещения, образец освещается серией полосатых паттернов. Анализируя муаровые узоры, образующиеся при взаимодействии света со структурой образца, и применяя сложные алгоритмы обработки, можно восстановить информацию о деталях, находящихся за пределами дифракционного предела.
• Nikon N-STORM (Stochastic Optical Reconstruction Microscopy): Технология N-STORM относится к так называемым методам одномолекулярной локализации. Она позволяет достичь разрешения порядка 20 нм. Принцип основан на использовании флуоресцентных маркеров, которые могут быть активированы и деактивированы. В каждый момент времени активируется лишь небольшое количество маркеров, их центры локализации определяются с высокой точностью. После многократного повторения цикла активации-деактивации, все локализации объединяются для создания изображения сверхвысокого разрешения.

Эти технологии в 10 и более раз превышают возможности обычных оптических микроскопов, позволяя исследовать внутренние структуры клеток, наночастицы и другие микроскопические объекты с беспрецедентной детализацией. Почему же это так важно для будущего медицины и электроники? Ответ кроется в способности видеть и контролировать процессы на уровне, который ранее был недостижим, открывая путь к созданию персонализированных лекарств и сверхминиатюрных устройств.

Электронно-лучевые и термоэмиссионные микроскопы

В отличие от СЗМ, которые сканируют поверхность зондом, электронно-лучевые микроскопы используют пучок электронов, а термоэмиссионные – тепловое излучение, для получения изображений с высоким разрешением.

Сканирующие электронные микроскопы (СЭМ)

СЭМ являются одним из наиболее распространенных и мощных инструментов для исследования морфологии поверхности и элементного состава образцов.

Принцип работы: Высокоэнергетический пучок электронов сканирует поверхность образца. Взаимодействие электронов с атомами образца приводит к генерации различных сигналов (вторичные электроны, обратно рассеянные электроны, характеристическое рентгеновское излучение), которые собираются детекторами и используются для формирования изображения.

Характеристики и применение: Современные СЭМ, такие как модели VEGA, MIRA, MAGNA от компании TESCAN, обеспечивают ультравысокое разрешение, достигающее субнанометрового уровня, до 0,4 нм. Они используются для:

• Анализа поверхности образцов: Изучение топографии, текстуры, дефектов и других морфологических особенностей вплоть до наноразмерных размеров.
• Определения элементного состава (EDX/EDS): С помощью приставки энергодисперсионного рентгеновского анализа можно определить качественный и количественный состав элементов на поверхности образца.
• Исследования кристаллической структуры (EBSD): Анализ ориентации кристаллитов и микроструктуры материалов.

СЭМ незаменимы в материаловедении, полупроводниковой промышленности, биологии и криминалистике.

Термоэмиссионные микроскопы

Термоэмиссионные микроскопы представляют собой более нишевый, но очень полезный инструмент, особенно для чувствительных образцов.

Принцип работы: Эти микроскопы используют явление термоэлектронной эмиссии – испускания электронов нагретыми материалами. Принцип заключается в регистрации электронов, эмитируемых поверхностью образца при его нагреве, что позволяет получить изображение его морфологии и распределения температур.

Характеристики и применение: Модели, такие как Nanometric TemOn 100 или серия JSM ClairScope от JEOL, имеют уникальное преимущество: они позволяют исследовать образцы при атмосферном давлении, что особенно важно для биологических образцов или тех, которые не выдерживают вакуум. Это устраняет необходимость в сложной и часто повреждающей предварительной подготовке (например, обезвоживание/высушивание), позволяя получать изображения высокого разрешения в их естественном состоянии.

Прочие методы и требования к измерениям

Помимо вышеперечисленных, существует ряд других методов и приборов, используемых в нанометрологии, а также специфические требования, обусловленные развитием передовых технологий.

• Контактные измерительные приборы: Хотя они и менее распространены для прямых наноизмерений из-за риска повреждения образца, их модификации используются для калибровки и косвенных измерений.
• Лазерные 3D-сканеры: В макро- и микродиапазонах лазерные 3D-сканеры уже давно используются для получения трехмерных моделей. В нанометрологии их применение ограничено, но ведутся разработки по повышению их разрешения для изучения объемных наноструктур.

Требования к измерениям в современной фотолитографии:

Развитие технологий производства микроэлектроники, особенно фотолитографии, предъявляет беспрецедентные требования к точности измерений. Для реализации методов прямой записи без маски, которые позволяют достичь разрешения менее 10 нм, необходимо измерять:

• Линейные перемещения на уровне нанометров: Это критически важно для точного позиционирования и формирования наноструктур.
• Угловые повороты на уровне сотых долей угловой секунды: Даже минимальные угловые отклонения могут привести к значительным искажениям на наномасштабе.

Таким образом, арсенал современных методов и средств измерения наноперемещений постоянно расширяется и совершенствуется, отвечая на растущие потребности нанотехнологической индустрии.

Интерферометрия как ключевой метод измерения наноперемещений

В поисках абсолютной точности измерения длины и перемещений, ученые давно обратили внимание на фундаментальные свойства света. Интерферометрия — это целое семейство методов, основанных на сложении волн, чаще всего электромагнитных, которое приводит к явлению интерференции. Это явление, характеризующееся образованием устойчивой картины чередующихся максимумов и минимумов интенсивности света, становится мощным инструментом для извлечения информации с невероятной точностью.

Принципы интерферометрии и ее применение в нанометрологии

Сердце интерферометрии – это принцип действия интерферометра. Он заключается в том, что пучок электромагнитного излучения (например, лазерный луч) пространственно разделяется на два или более когерентных пучка. Эти пучки затем проходят различные оптические пути. Один пучок обычно является опорным, а другой — измерительным, взаимодействующим с объектом измерения (например, отражается от движущейся поверхности). После прохождения разных путей эти когерентные пучки объединяются, создавая интерференционную картину. Анализируя эту картину, можно с высокой точностью установить разность фаз между пучками, которая, в свою очередь, напрямую связана с разностью длин оптических путей.

Применение интерферометров в нанометрологии:

• Измерение малых смещений: Это основное применение. Интерферометры способны регистрировать смещения нанометрового и даже пикометрового диапазона. Любое, даже микроскопическое, изменение положения объекта вызывает сдвиг интерференционной картины, который регистрируется с высочайшей точностью.
• Изменение показателя преломления: Интерферометры используются для измерения очень малых изменений показателя преломления среды, через которую проходит свет.
• Неровности поверхности: Анализируя интерференционную картину, образованную светом, отраженным от исследуемой поверхности, можно с высокой точностью определять микронеровности и дефекты поверхности.
• Форма оптических компонентов: Интерферометры являются самыми точными приборами для измерения длины и формы оптических компонентов, позволяя контролировать их с точностью до нанометра.

Именно благодаря этим возможностям, интерферометры стали краеугольным камнем прецизионных измерений на наноуровне, обеспечивая метрологическую основу для развития многих высокотехнологичных отраслей.

Производительность лазерных интерферометров

Лазерные интерферометры – это вершина интерферометрических технологий, отличающиеся исключительной точностью и разрешением. Их производительность определяется целым рядом ключевых параметров:

1. Точность и разрешение измерения: Эти параметры выражаются в нанометрах (нм) или даже пикометрах (пм). Современные лазерные интерферометры способны достигать пикометрового диапазона точности, что делает их незаменимыми для самых требовательных применений. Ярким примером служит наноизмерительная машина NMM-1, которая, используя интерферометрические датчики, демонстрирует разрешение 0,1 нм. Это означает, что она способна регистрировать изменения положения, составляющие десятые доли нанометра.
2. Измеренный диапазон и рабочее расстояние: Эти параметры определяют максимальный размер объекта, который может быть измерен, и расстояние, на котором интерферометр может работать. Широкий диапазон и большое рабочее расстояние значительно расширяют область применения прибора.
3. Экологическая адаптивность: Лазерные интерферометры чрезвычайно чувствительны к внешним условиям, таким как температура, давление, влажность, вибрации и состав атмосферы. Экологическая адаптивность подразумевает наличие систем компенсации и стабилизации, позволяющих получать достоверные результаты даже в условиях, далеких от идеальных.
4. Скорость измерения: Обычно выражается на уровне килогерц (кГц), что указывает на частоту, с которой прибор может обновлять данные о положении или смещении. Высокая скорость измерения критична для контроля динамических процессов и быстро движущихся объектов.
5. Характеристики лазерного источника: Стабильность длины волны, когерентность и мощность лазера напрямую влияют на точность и надежность интерферометрических измерений. В лазерных интерферометрах фотоэлектрическая регистрация разности хода выражается непосредственно в длинах волн, что делает характеристики лазера определяющими.

Таким образом, лазерные интерферометры представляют собой комплексные системы, чья производительность достигается за счет синергии передовых оптических, электронных и вычислительных технологий. Что это означает для конечного пользователя? Прежде всего, это гарантия беспрецедентной точности и надежности в условиях, требующих измерения мельчайших перемещений.

Перспективные интерферометрические подходы

Развитие интерферометрии не стоит на месте, постоянно появляются новые методы и подходы, расширяющие ее возможности.

• Цифровые голографические системы: Эти системы эффективно используются для измерений перемещений нанометрового диапазона. Они объединяют принципы голографии и цифровой обработки изображений, позволяя получать и анализировать трехмерную информацию о форме и смещениях объектов с высокой точностью. Голографическое изображение записывается цифровой камерой, а затем анализируется с помощью компьютерных алгоритмов, что открывает новые возможности для бесконтактных и быстрых измерений.
• Применение одночастотных лазеров: Использование одночастотных лазеров позволило существенно улучшить и автоматизировать технику интерферометрических измерений, повысить их точность. Одночастотный лазер излучает свет с очень узкой спектральной линией, что обеспечивает высокую когерентность и стабильность длины волны – критически важные параметры для прецизионной интерферометрии. Это минимизирует ошибки, связанные с многочастотностью и нестабильностью источника, делая измерения более надежными и воспроизводимыми.

Эти перспективные направления демонстрируют непрерывный прогресс в области интерферометрии, подтверждая ее статус краеугольного камня в метрологическом обеспечении нанотехнологий.

Метрологическое обеспечение нанотехнологий и эталоны длины

Создание наноструктур и устройств требует не только точных методов измерения, но и надежной системы метрологического обеспечения, которая гарантирует единство и прослеживаемость всех измерений. Эта система включает в себя эталоны, методики калибровки и поверки, а также стандарты.

Вызовы при калибровке нанометровых систем и их минимизация

Измерение на наноуровне – это не просто уменьшение масштаба, это погружение в мир, где доминируют эффекты, незначительные на макроуровне. При калибровке средств измерений в нанометровом масштабе метрологи сталкиваются с целым рядом специфических вызовов:

1. Вибрации и шум: Минимальные механические колебания и акустический шум, которые не влияют на макроизмерения, могут полностью исказить нанометровые результаты.
2. Тепловой дрейф: Температурные колебания вызывают тепловое расширение или сжатие материалов, что на наноуровне приводит к значительным перемещениям и ошибкам.
3. Ползучесть: Некоторые материалы, особенно используемые в пьезоэлектрических элементах, могут испытывать медленную деформацию под постоянной нагрузкой – ползучесть, что приводит к нелинейным перемещениям.
4. Нелинейное поведение и гистерезис пьезосканера: Пьезоэлектрические элементы, являющиеся основой многих нанопозиционеров, демонстрируют нелинейную зависимость перемещения от приложенного напряжения, а также гистерезис – зависимость текущего положения от предыдущей траектории.
5. Взаимодействие между поверхностью и прибором: На наноуровне силы взаимодействия между зондом и образцом (например, адгезия, капиллярные силы) могут быть сопоставимы с измеряемыми величинами, влияя на точность.

Методы минимизации влияния этих факторов:

Для преодоления этих трудностей применяются специальные, многоуровневые подходы:

• Термостабильная конструкция измерительных машин: Использование материалов с низким коэффициентом теплового расширения, активный термоконтроль и изоляция от внешних температурных колебаний.
• Специальное расположение датчиков: Разработка оптических схем и расположение интерферометрических датчиков для устранения аберраций по координатным осям (например, Abbe-ошибки).
• Датчики угла: Интеграция датчиков угловых отклонений, которые позволяют измерять и компенсировать любые незначительные повороты и наклоны измерительных элементов. Это критически важно для обеспечения точности линейных перемещений.

Все эти меры направлены на создание максимально стабильной и контролируемой среды для проведения прецизионных наноизмерений.

Национальные и международные эталоны длины в нанодиапазоне

Одной из фундаментальных проблем нанометрологии является создание простого и доступного эталона длины в нанометровом диапазоне. Без таких эталонов невозможно обеспечить метрологическую прослеживаемость – свойство результата измерения, которое позволяет соотнести его с основой для сравнения через документированную неразрывную цепочку калибровок.

Примеры национальных эталонов и мер:

• Национальный эталон Беларуси (НЭ РБ 65-22): В 2022 году в БелГИМ (Белорусском государственном институте метрологии) был утвержден национальный эталон единицы длины в нанометровом диапазоне. Его основой является наноизмерительная машина NMM-1, которая обеспечивает метрологическую прослеживаемость измерений к международным эталонам единицы длины. NMM-1 имеет диапазон измерения и позиционирования 25 × 25 × 5 мм и разрешение 0,1 нм. Этот эталон предназначен для:
  • Воспроизведения, хранения и передачи размера единицы длины рабочим средствам измерений.
  • Поверки и калибровки эталонных мер высоты ступени и ширины шага.
  • Проведения исследований и измерений толщины тонких пленок методом спектральной эллипсометрии.
• Российские эталоны на основе вируса табачной мозаики и кремния: В России разработан уникальный эталон высоты для СЗМ на основе вируса табачной мозаики, который служит эталоном высоты в 17 нм. Это биологический объект с жестко заданной и воспроизводимой структурой.
  • Также созданы меры плоскостности и меры высоты на основе атомных ступеней кремния. Меры плоскостности – это идеально гладкая поверхность кристалла кремния, а меры высоты представляют собой «стопку» атомных слоев кремния, где высота одного атомного слоя составляет 0,31356 нанометров. Эти меры охватывают диапазон от долей до сотен нанометров и обеспечивают высокую прослеживаемость. Для этих мер сотрудниками Всероссийского научно-исследовательского института оптико-физических измерений (ВНИИОФИ) разработаны паспорт и руководство по эксплуатации.
• Статические решетки: Могут использоваться как измерительные меры, но имеют недостатки: подвержены деградации, загрязнениям, износу и не позволяют калибровать СЗМ непосредственно в процессе измерения.

Средства измерений и калибровки

Помимо эталонов, ключевую роль в метрологическом обеспечении играют сами средства измерений и процедуры их калибровки.

• Передача размера единицы длины от Первичного эталона: Первичным эталоном метра является длина волны излучения He-Ne/I₂ лазера, стабилизированного по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде с параметрами излучения ν = 473612214705 кГц, λ = 632,99139822 нм. Передача размера единицы длины от этого первичного эталона в нанометровый диапазон осуществляется с помощью установки высшей точности, предназначенной для средств измерений линейных размеров нанорельефа поверхности твердотельных структур. Эта эталонная установка используется для измерения линейных перемещений по одной, двум и трем координатам, а также для аттестации мер и стандартных образцов, используемых для калибровки измерительных систем.
• Сканирующий зондовый микроскоп «ФемтоСкан»: Производства Центра перспективных технологий, был внесен в Государственный реестр средств измерений в 2007 году. Это один из примеров успешной российской разработки. «ФемтоСкан» предназначен для измерений параметров топографии и локальных геометрических свойств поверхности с субнанометровым пространственным разрешением, а также для визуализации атомарной структуры поверхности образцов на воздухе и в жидких средах. Он позволяет получать атомное или молекулярное разрешение на поверхности кристаллов и пленок и имеет уникальный контроллер на базе 16-битных микрочипов с рекордно низкими шумами. Отличительной особенностью «ФемтоСкан» является реализованная впервые в мире технология дистанционного управления прибором и анализа данных через сеть Интернет.
• Меры на основе пьезокерамической пластины: Являются хорошей альтернативой природным объектам и статическим решеткам. Их преимущество – возможность создания управляемого и воспроизводимого перемещения.
  • Перспективное решение с обратным пьезоэффектом: Для создания эталона нанометра можно использовать изменение размеров пьезокерамической пластинки ΔD при приложении к ее электродам электрического напряжения ΔU. Это изменение прямо пропорционально приложенному напряжению (обратный пьезоэффект):
    ΔD = d33 ΔU
    где d₃₃ — пьезоэлектрический модуль. Таким образом, контролируя напряжение, можно с высокой точностью контролировать перемещение, создавая «электронный» эталон длины.
• Лазерная фазометрия: Одним из перспективных решений проблемы нанометрии является создание и внедрение в практику линейных измерений методов и средств лазерной фазометрии, опирающихся на эталоны физических величин. Фазовые методы используются для измерений пространственно-временных изменений разности фаз — угла фазового сдвига (УФС) в интерференционном поле, что позволяет добиться высокой точности.

В России внедрены семь национальных стандартов, относящихся к изготовлению и аттестации линейных мер нанометрового диапазона и поверке наноаналитического оборудования, что свидетельствует о системном подходе к метрологическому обеспечению в этой области.

Единство и прослеживаемость измерений в нанотехнологиях

В мире, где точность определяет прогресс, вопрос о достоверности и сопоставимости измерений становится критически важным. В нанотехнологиях, где речь идет о размерах, невидимых невооруженным глазом, это приобретает особую значимость. Здесь на первый план выходят понятия метрологической прослеживаемости и единства измерений.

Метрологическая прослеживаемость и ее значение

Метрологическая прослеживаемость (Metrological traceability) – это не просто технический термин, а фундаментальный принцип современной метрологии. Это свойство результата измерения, в соответствии с которым результат может быть соотнесен с основой для сравнения (например, национальным или международным эталоном) через документированную неразрывную цепочку калибровок. Каждое звено этой цепочки вносит свой вклад в неопределенность измерения, и задача метролога – минимизировать эту неопределенность на каждом этапе.

Значение метрологической прослеживаемости:

• Обеспечение единства измерений: Метрологическая прослеживаемость является неотъемлемым условием обеспечения единства измерений. Она гарантирует, что измерения, проведенные в разных лабораториях, разными специалистами и на различном оборудовании, будут сопоставимы и взаимозаменяемы. Без этого невозможно эффективное сотрудничество, международная торговля и даже воспроизведение научных результатов.
• Достоверность и доверие: Прослеживаемость обеспечивает доверие к результатам измерений. В критически важных областях, таких как медицина, оборона, аэрокосмическая промышленность, а теперь и нанотехнологии, ошибки в измерениях могут иметь катастрофические последствия.
• Научный прогресс: Для научных исследований прослеживаемость позволяет сравнивать данные, полученные в разных исследовательских группах по всему миру, что ускоряет обмен знаниями и развитие науки.

Обеспечение единства измерений в стране способствует получению правильных и точных результатов как для решения внутригосударственных вопросов, так и для поддержки экспорта отечественной продукции. Развитие метрологического обеспечения нанотехнологий напрямую влияет на повышение обороноспособности и безопасности государства, качество жизни, а также способствует развитию международной торговли отечественной продукцией.

Нормативно-правовая база и стандартизация

Система метрологической прослеживаемости и единства измерений опирается на обширную нормативно-правовую базу и стандарты.

Российская Федерация:

• Федеральный закон № 102-ФЗ «Об обеспечении единства измерений» от 26 июня 2008 г.: Этот закон является основополагающим документом, регламентирующим все проводимые в России измерения. Он устанавливает правовые основы обеспечения единства измерений, определяет принципы государственного регулирования в этой области и требования к средствам измерений, методикам измерений и метрологическому обеспечению.
• ГОСТ ISO/TS 80004-1-2017 «Нанотехнологии. Часть 1. Основные термины и определения»: Этот межгосударственный стандарт, идентичный международному документу ISO/TS 80004-1:2015, устанавливает термины и определения основных понятий в области нанотехнологий. Он определяет приставку «нано-» в наименовании терминов как означающую, что размеры объекта находятся в пределах диапазона 10^-9 м. Стандарт важен для обеспечения взаимопонимания между организациями и специалистами, определяя такие понятия, как «нанодиапазон», «нанообъект», «наноматериал», «наноструктура» и «наноструктурированный материал».
• ГОСТ ISO/TS 80004-6-2016 «Нанотехнологии. Часть 6. Характеристики нанообъектов и методы их определения. Термины и определения»: Этот стандарт дополняет предыдущий, устанавливая терминологию для характеристик нанообъектов. Он уточняет, что «нанодиапазон» приблизительно составляет от 1 до 100 нм, подчеркивая, что уникальные свойства нанообъектов обычно не проявляются за верхней границей, а нижняя граница исключает отдельные атомы или небольшие группы атомов. Также стандарт определяет «нанообъект» как материальный объект, линейные размеры которого по одному, двум или трем измерениям находятся в нанодиапазоне.

Международная стандартизация:

• Технический комитет по стандартизации ISO/TC 229 «Нанотехнологии»: Этот комитет активно разрабатывает международные стандарты, охватывающие широкий спектр вопросов в области нанотехнологий. В его задачи входит разработка:
  • Терминологии и номенклатуры.
  • Спецификаций для стандартных образцов в сфере метрологии и контрольно-измерительной аппаратуры.
  • Методологии выполнения испытаний.
  • Моделирования и имитации.
  • Аспектов здоровья, безопасности и охраны окружающей среды.
  • Примеры стандартов, разработанных ISO/TC 229, включают производство металлических наночастиц, определение их параметров и анализ содержания эндотоксинов в наноматериалах.

Учебные и методические материалы:

• Учебное пособие «Метрологическое обеспечение нанотехнологий и продукции наноиндустрии» (2012 г.): Это пособие, опубликованное ФГУП «ВНИИОФИ» (авторы П.А. Тодуа, А.С. Захаров, В.В. Календин, Ю.Г. Игнатьев), освещает методы и средства метрологического обеспечения нанотехнологий и аналитического контроля наноматериалов, являясь важным источником знаний для специалистов в этой области.

Вся эта система нормативных документов и стандартов создает прочную основу для обеспечения единства и прослеживаемости измерений в нанотехнологиях, что является залогом их успешного развития.

Применение и перспективные направления развития нанометрологии

Нанометрология – это не просто научная дисциплина, но и критически важный инструмент, без которого невозможно представить современную нанотехнологическую индустрию. Её достижения находят применение в самых разных областях, а непрерывное развитие открывает новые горизонты.

Практическое применение нанометрологии

Значение нанометрологии для контроля качества и производства в нанотехнологической индустрии трудно переоценить. Она является фундаментом для инноваций в следующих ключевых областях:

• Материаловедение: От разработки новых высокопрочных сплавов и композитов до создания материалов с уникальными электрическими или оптическими свойствами – нанометрология позволяет точно характеризовать наночастицы, нановолокна, тонкие пленки и другие наноматериалы, обеспечивая воспроизводимость их свойств и контроль качества.
• Биомедицинские исследования: В этой сфере нанометрология играет решающую роль в создании нанолекарств, систем доставки лекарств, биосенсоров и инструментов для диагностики заболеваний на молекулярном уровне. Точное измерение размеров и перемещений нанообъектов критически важно для их взаимодействия с биологическими системами.
• Полупроводниковая промышленность: Производство микроэлектронных компонентов с размерами элементов нанометрового диапазона невозможно без прецизионных измерений. Нанометрология обеспечивает контроль топологии СБИС, размеров транзисторов, дефектов и других критических параметров.
• Другие высокотехнологичные отрасли: Космическая, оборонная, автомобильная промышленность – везде, где требуется создание миниатюрных, высокоэффективных и надежных устройств, нанометрология выступает гарантом качества.

Примеры манипулирования атомами с помощью СТМ: Сканирующие туннельные микроскопы (СТМ) не только измеряют, но и позволяют манипулировать отдельными атомами и молекулами. Этот феноменальный прорыв был продемонстрирован в 1989 году, когда исследователи IBM использовали СТМ для того, чтобы выложить логотип IBM из 35 атомов ксенона. Позже эта технология позволила создать даже мультфильм из 242 молекул угарного газа, что является ярким примером беспрецедентного контроля над материей на атомарном уровне. Эти демонстрации подчеркивают не только возможности нанотехнологий, но и важность нанометрологии как инструмента, позволяющего точно позиционировать и контролировать эти манипуляции.

Кроме того, меры на основе атомных ступеней могут использоваться для усовершенствования и калибровки измерительного оборудования, такого как оптические и атомно-силовые микроскопы, а также для развития физических основ новой электроники.

Тенденции и перспективы развития

Нанометрология находится в состоянии постоянного развития, стремясь отвечать на все более сложные вызовы и потребности наноиндустрии. Ключевые векторы развития включают:

1. Разработка рабочих эталонов (установок высшей точности): Это подразумевает создание нового поколения измерительного оборудования на базе приборов нанометрового диапазона, оснащенных усовершенствованными интерференционными и другими датчиками перемещений. Эти установки будут служить для передачи размера единицы длины от первичных эталонов к рабочим средствам измерений с минимальной неопределенностью.
2. Разработка комплексов параметрических мер для калибровки приборов нанометрового диапазона: Создание наборов стандартных образцов с точно заданными параметрами (высота, ширина, шаг, шероховатость) для всесторонней калибровки и поверки различных типов наноизмерительных приборов.
3. Создание Государственной поверочной схемы для передачи размеров единицы длины: Эта схема будет обеспечивать иерархическую систему прослеживаемости измерений от первичного эталона до рабочих средств измерений, гарантируя единство и достоверность результатов по всей стране.

Стратегические инициативы в России: Прогресс в России в этих направлениях подтверждается принятием таких стратегических документов, как «Стратегия обеспечения единства измерений в России на 2008–2010 годы и до 2015 года» и «Концепция обеспечения единства измерений, стандартизации, оценки соответствия и безопасности использования нанотехнологий, наноматериалов и продукции наноиндустрии в Российской Федерации до 2015 года». Эти документы подчеркивают государственную важность развития метрологического обеспечения нанотехнологий.

Развитие автоматизированных комплексов: Современные тенденции включают создание автоматизированных комплексов для линейных измерений в широком диапазоне размеров, от 1 нм до 100 мкм. Например, растровые электронные микроскопы серии JSM (например, JSM-6460LV) оснащены системами управления на базе Windows 7, позволяющими осуществлять дистанционное управление по Wi-Fi. Это особенно удобно для исследований в «чистых помещениях», где минимизация присутствия человека и предотвращение загрязнений являются критически важными условиями.

Таким образом, нанометрология продолжает развиваться, постоянно расширяя свои возможности и адаптируясь к новым вызовам нанотехнологической эры. Почему это так важно для будущего? Потому что именно эти усилия позволяют нам не просто наблюдать, но и активно формировать мир на атомарном уровне, преобразуя медицину, энергетику, электронику и многие другие сферы жизни.

Заключение

Путешествие в мир нанометрологии – это погружение в область, где каждый нанометр имеет значение, а точность измерений становится краеугольным камнем научного и технологического прогресса. Мы увидели, как возникла эта дисциплина в ответ на уникальные вызовы, поставленные нанотехнологиями, где квантовые эффекты и размерные особенности делают неприменимыми классические методы.

Центральной идеей, пронизывающей все аспекты нанометрологии, является обеспечение единства и прослеживаемости измерений. От детального описания таких высокоточных методов, как сканирующая зондовая микроскопия (СТМ с его поразительной чувствительностью туннельного тока к зазору, АСМ с учетом специфики острия зонда) и интерферометрия (способная достигать пикометрового разрешения, как в машине NMM-1), до рассмотрения современных оптических микроскопов (Nikon N-SIM и N-STORM, преодолевающих дифракционный предел) и электронно-лучевых систем (СЭМ TESCAN с разрешением до 0,4 нм, термоэмиссионные микроскопы для исследований при атмосферном давлении) – каждый шаг в развитии измерительных технологий направлен на освоение невидимого мира.

Критически важным является развитие метрологического обеспечения: создание национальных эталонов, таких как НЭ РБ 65-22 или российский эталон на основе вируса табачной мозаики, а также мер на основе атомных ступеней кремния. Особое внимание было уделено российским разработкам, включая СЗМ «ФемтоСкан» с его уникальными контроллерами и возможностью дистанционного управления.

Будущее нанометрологии обещает дальнейшие прорывы. Разработка новых рабочих эталонов, комплексов параметрических мер и государственных поверочных схем, вкупе с внедрением автоматизированных систем, таких как РЭМ с дистанционным управлением, будет способствовать еще более глубокому пониманию и контролю наноматериалов. В конечном итоге, нанометрология не просто измеряет невидимое, она делает возможным создание будущего, где технологии будут работать на атомарном уровне, преображая медицину, энергетику, электронику и многие другие сферы жизни.

Список использованной литературы

1. International Organization for Standardization. URL: www.iso.org (дата обращения: 16.10.2025).
2. Postek M.T. Nanometer Scale Metrology // Proceedings of SPIE. 2002. V. 4608. P. 84-96.
3. Тодуа П.А. и др. Метрологическое обеспечение измерений длины в микрометровом и нанометровом диапазонах и их внедрение в микроэлектронику и нанотехнологию // Микросистемная техника. 2004. № 1. С. 38-44; № 2. С. 24-39; № 3. С. 25-32.
4. Нанометрология // Википедия. URL: https://ru.wikipedia.org/wiki/%D0%9D%D0%B0%D0%BD%D0%BE%D0%BC%D0%B5%D1%82%D1%80%D0%BE%D0%BB%D0%BE%D0%B3%D0%B8%D1%8F (дата обращения: 16.10.2025).
5. Метрология. Сертификация. Стандартизация. Логос. URL: https://www.logosbook.ru/catalog/metrologiya/ (дата обращения: 16.10.2025).
6. Утвержден национальный эталон единицы длины в нанометровом диапазоне. БелГИМ. URL: https://belgim.by/news/utverzhden-nacionalnyy-etalon-ediniczy-dliny-v-nanometrovom-diapazone (дата обращения: 16.10.2025).
7. Интерферометрия // Википедия. URL: https://ru.wikipedia.org/wiki/%D0%98%D0%BD%D0%B5%D1%80%D1%84%D0%B5%D1%80%D0%BE%D0%BC%D0%B5%D1%82%D1%80 (дата обращения: 16.10.2025).
8. Метрологическое обеспечение нанотехнологий и продукции наноиндустрии. Elibrary. URL: https://elibrary.ru/item.asp?id=18018780 (дата обращения: 16.10.2025).
9. Методы и средства измерений линейных размеров в нанометровом диапазоне. Studfile.net. URL: https://studfile.net/preview/16281896/page:11/ (дата обращения: 16.10.2025).
10. Научно-технический журнал «Наноиндустрия». Эталон нанометра. URL: https://nanoindustry.ru/magazine/article5809/ (дата обращения: 16.10.2025).
11. Каковы важные параметры продукта и особенности лазерных интерферометров? Hololaser.ru. URL: https://www.hololaser.ru/info/important-parameters-and-features-of-laser-interferometers/ (дата обращения: 16.10.2025).
12. Выдан патент на полезную модель «Эталон единицы длины в нанометровом диапазоне измерений». БелГИМ. URL: https://belgim.by/news/vydan-patent-na-poleznuyu-model-etalon-edinicy-dliny-v-nanometrovom-diapazone-izmereniy (дата обращения: 16.10.2025).
13. ГОСТ ISO/TS 80004-1-2017. Нанотехнологии. Основные термины и определения. URL: https://docs.cntd.ru/document/1200157929 (дата обращения: 16.10.2025).
14. Методы цифровой голографической интерферометрии и их применение для измерения наноперемещений // КиберЛенинка. URL: https://cyberleninka.ru/article/n/metody-tsifrovoy-golograficheskoy-interferometrii-i-ih-primenenie-dlya-izmereniya-nanoperemescheniy (дата обращения: 16.10.2025).
15. Нанометрология. Метрология (наука об измерениях). Метрологическое обеспечение производства. URL: https://metrology-info.ru/index.php/nanometrologiya (дата обращения: 16.10.2025).
16. Нанометровая «линейка» на основе атомных ступеней для электронной промышленности охватывает диапазон от долей до сотен нанометров. Российская академия наук. URL: https://www.ras.ru/news/fcd71550-9602-4c22-9216-52c7104ae05d.aspx (дата обращения: 16.10.2025).
17. Наноиндустрия. Нанометрология и стандартизация в нанотехнологиях. URL: https://nanoindustry.ru/magazine/article257/ (дата обращения: 16.10.2025).
18. Нанотехнологии, метрология, стандартизация и сертификация в терминах и определениях. Лабиринт. URL: https://www.labirint.ru/books/210283/ (дата обращения: 16.10.2025).
19. Нанотехнологии, метрология, стандартизация и сертификация в терминах и определениях. TOTbook.ru. URL: https://totbook.ru/book/209149 (дата обращения: 16.10.2025).
20. Календин В. В. Нанометрия: проблемы и решения. Elibrary.ru. URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=12999411 (дата обращения: 16.10.2025).
21. Нанотехнологии, метрология, стандартизация и сертификация в терминах и определениях. Russbooks.ie. URL: https://www.russbooks.ie/ru/book/1826 (дата обращения: 16.10.2025).
22. О новых стандартах ИСО, которые помогают тестировать и безопасно использовать наноматериалы. ФГБУ «Институт стандартизации». URL: https://gostinfo.ru/news/O-novyh-standartah-ISO-kotorye-pomogayut-testirovat-i-bezopasno-ispolzovat-nanomaterialy (дата обращения: 16.10.2025).
23. Ковальчук М.В. Нанотехнологии, метрология, стандартизация и сертификация в терминах и определениях. 2009. URSS.ru. URL: https://urss.ru/cgi-bin/db.pl?lang=Ru&blang=ru&page=Book&id=64867 (дата обращения: 16.10.2025).
24. Нанометрология. Роснано. URL: https://www.rusnano.com/nanotechnology/glossary/nanometrology (дата обращения: 16.10.2025).
25. Наука открывает мир нано-измерений. КИПиА Инфо. URL: https://kipia.info/science-opens-up-the-world-of-nano-measurements.html (дата обращения: 16.10.2025).
26. Интерферометрия: принципы и применения. 2024. ВКонтакте. URL: https://vk.com/@40685764-interferometriya-principy-i-primeneniya-2024 (дата обращения: 16.10.2025).
27. Метрологическая прослеживаемость. ОЕИ. URL: https://oei.by/metrologicheskaya-proslezhivaemost (дата обращения: 16.10.2025).
28. Интерферометр // Википедия. URL: https://ru.wikipedia.org/wiki/%D0%98%D0%BD%D1%82%D0%B5%D1%80%D1%84%D0%B5%D1%80%D0%BE%D0%BC%D0%B5%D1%82%D1%80 (дата обращения: 16.10.2025).
29. Нанометрик — решения в области метрологии. URL: https://nanometric.ru/ (дата обращения: 16.10.2025).
30. ГОСТ ISO/TS 80004-6-2016. Нанотехнологии. Часть 6. Характеристики нанообъектов и методы их определения. Термины и определения (с Поправкой). URL: https://docs.cntd.ru/document/1200140239 (дата обращения: 16.10.2025).
31. Российские стандарты для измерений линейных размеров в нанотехнологиях // Наноиндустрия. URL: https://nanoindustry.ru/magazine/article261/ (дата обращения: 16.10.2025).
32. Матричная технология измерений. Путь к нанометрам // КиберЛенинка. URL: https://cyberleninka.ru/article/n/matrichnaya-tehnologiya-izmereniy-put-k-nanometram (дата обращения: 16.10.2025).
33. Короленко П.В. Интерферометрия. Учебно-методическое пособие. 2024. Elibrary.ru. URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=56722340 (дата обращения: 16.10.2025).
34. Линейка длиной в один нанометр. Mathnet.RU. URL: https://www.mathnet.ru/php/getFT.phtml?jrnid=intm&paperid=20&what=fullt&option_lang=rus (дата обращения: 16.10.2025).
35. Эталон наноМетРа // Наноиндустрия. URL: https://nanoindustry.ru/magazine/article260/ (дата обращения: 16.10.2025).
36. Стандарты ИСО: от классификации наноматериалов до нанотоксикологии // Наноиндустрия. URL: https://nanoindustry.ru/magazine/article262/ (дата обращения: 16.10.2025).
37. Метрологическая прослеживаемость. Профилаб. URL: https://profilab.by/metrologicheskaya-proslezhivaemost (дата обращения: 16.10.2025).
38. ГОСТ Р 57933-2017. Нанотехнологии. Наноматериалы. Токсиколого-гигиеническая оценка безопасности. Общие требования к проведению испытаний на лабораторных животных. URL: https://docs.cntd.ru/document/1200159491 (дата обращения: 16.10.2025).
39. Нанометрология. Лекториум. URL: https://www.lektorium.tv/course/23589/ (дата обращения: 16.10.2025).
40. Единство и прослеживаемость измерений. Метрологический консалтинг. URL: https://metrologia.by/edinitsy-izmerenij/edinstvo-i-proslezhivaemost-izmerenij/ (дата обращения: 16.10.2025).
41. Метрология и стандартизация в нанотехнологиях. Elibrary.ru. URL: https://elibrary.ru/item.asp?id=17382433 (дата обращения: 16.10.2025).
42. Скачать ГОСТ ISO/TS 27687-2014. Нанотехнологии. Термины и определения нанообъектов. URL: https://files.stroyinf.ru/Data2/1/4294863/4294863675.htm (дата обращения: 16.10.2025).